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Wir stellen ein neues Messmikroskop vor, welches die Erfassungvon dreidimensionalen Schwingungsparametern mikroskopischerObjekte in Echtzeit ermöglicht. Das Messsystem besteht aus einemeinzigen, integrierten Messkopf, der den von einem mikroskopischenMessobjekt in drei Raumrichtungen gestreuten Laserstrahlanalysiert und daraus die dreidimensionale Objektbewegungbestimmt. Die Messpunktgröße ist hierbei kleiner als 4 µm, wobeioptisches Übersprechen zwischen den drei Analyserichtungenvermieden wird, da es nur einen Messlaserstrahl gibt.

Schwingungen in Mikrostrukturen 3D-Laservibrometer-Mikroskop mit nur einem Messstrahl