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Eine Luftbrückenstruktur wurde entwickelt, auf der einDünnschicht-Thermoelement angeordnet ist. Dieses Thermoelementdient als Abschlusswiderstand einer Antenne und gleichzeitig alsTemperatursensor [1]. Die Brückenstruktur wurdemittels Oberflächenmikromechanik hergestellt. Die thermischenEigenschaften der Luftbrückenstruktur wurden durchComputersimulationen untersucht, und basierend auf diesenErgebnissen wurde eine geeignete Technologie entwickelt, um einehochleistungsfähige thermoelektrische Terahertz-Sensorstrukturherzustellen. Die Messung der elektrischen Empfindlichkeit dieserThermoelement-Luftbrückenstruktur ergab eine NEP von18 pW/Hz 1/2  unter Vakuumbedingungen und von67 pW/Hz 1/2  an Luft.

Ungekühlte Thermoelement-Luftbrückenstruktur für Anwendungen im THz-Bereich