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In diesem Beitrag präsentieren wir die Fertigung polymerer, diskret gestufter spiraler optischer Phasenplatten (SPPs) für die Erzeugung von Ringmoden in Laserstrahlen. Wir beschreiben das von uns verwendete Modell um die Wirkung von SPPs im Fernfeld abhängig von ihrer Geometrie zu simulieren und diese zu dimensionieren. Weiter berichten wir von der Fertigung zunächst 3- und 4-stufiger SPPs aus dem Negativlack AZ nLOF 2070 auf Kalk-Natron-Glas durch Spin Coating und Polymerisation mittels direkter Laserlithografie. Wir zeigen die Wirkung der Bauteile auf das Strahlprofil eines Helium-Neon-Lasers im Fernfeld und validieren damit auch das verwendete Modell.

Fertigung polymerer optischer Phasenplatten zur Erzeugung von Ringmoden mittels direkter Laserlithografie