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Die nicht-negative Matrixfaktorisierung wird als Ansatz zur Lösung des inversen Problems bei Oberflächenmessungen basierend auf der Auswertung von Streulichtverteilungen vorgeschlagen. Die Entwicklung neuer Streulichtmethoden basiert derzeit auf empirischen Lösungen, die stark von der jeweiligen Anwendung abhängen. Die vorgeschlagene modellbasierte Lösung wird ohne a priori Expertenwissen für Au-Nanosphären auf Au-Substraten angewendet und für die Messung der Oberflächenabdeckung mit Partikeln mittels Streulichtsimulationen verifiziert. Ausblickend werden Strategien für die Validierung vorgestellt.

tm - technisches messen

Maschinelles Lernen für Abdeckungsmessungen von Oberflächen mit abgeschiedenen Au-Nanosphären mittels Lichtstreuung / Machine learning for coverage measurements of surfaces with deposited Au-nanospheres by light scattering