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Die Charakterisierung eines Messinstruments zur Topographiemessung erfolgt durch die Messung bekannter Strukturen oder durch den Vergleich mit Referenzgeräten. Exakte Vergleichsmessungen bei unterschiedlicher Aufspannung des Messobjektes gestalten sich in der Praxis jedoch als schwierig, da Umgebungseinflüsse, Winkel zwischen Messobjekt und Messgerät, sowie die Position des Messfeldes nicht immer exakt übereinstimmen.

Multisensorisches Messsystem zur Untersuchung der Übertragungseigenschaften von Topographiesensoren