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Die Ellipso-Höhentopometrie misst zusätzlich zum topometrischen Höhenprofil die örtliche Verteilung des Materials an der Oberfläche, so dass eine hochaufgelöste Materialidentifizierung und Kartierung und eine Korrektur der Messfehler möglich wird.

Ellipso-Höhentopometrie: Ein neues Verfahren zur Messung von Oberflächentopografien samt Überschichtungen und zur lokalen Materialerkennung