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Das metallische Massivglas Zr 46.8 Ti 8.2 Cu 7.5 Ni 10 Be 27.5  (V4) ist aufgrund seiner guten Festigkeitseigenschaften und seiner glatten Oberfläche ein geeignetes Material für mechanisch beanspruchte Mikrobauteile. Die große Stabilität dieses Glases gegen Kristallisation erlaubt die endformnahe Herstellung von Mikrobauteilen durch superplastische Formgebung unter geringen Drucken bei Temperaturen oberhalb des Glasübergangs. Durch Pressen des V4-Glases mit einem Druck von 5 MPa bei 653 K in tiefgeätzte Si-Formen bzw. in nach dem UV-LIGA-Verfahren hergestellte NiCo-Pressformen können Mikrobauteile von bis zu 500 μm Dicke, mit Detailabmessungen von weniger als 50 μm, mit hoher Präzision und Oberflächengüte hergestellt werden.

Endformnahe Mikrobauteile durch superplastische Umformung von metallischem Massivglas