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電子線マイクロアナライザーは広く材料の分析に用いられ,定量分析法は ZAF 法としてほぼ確 立されている.しかし,Mg-Ge 合金においては,定量分析の結果 Mg と Ge の濃度の合計 120wt.% と異常な値を示した.しかも電子線の加速電圧が高くなるに従って Mg の定量値が上昇する.この 誤差の要因として吸収補正のパラメータの一つであるMg Kαに対するGeの既存の質量吸収係数の 値の不確かさであると推定した.そこで,濃度既知の Mg-Ge 合金と参照物質 MgO および金属 Ge のX線強度比を電子線の加速電圧 15kV~30kV の範囲で測定し,その強度比変化を説明する Ge の Mg Kα に対する質量吸収係数として 5561±200 cm/g の値を得た.この値は,広く用いられている Heinrich らの値 7510 cm/g と大きく異なる.この大きな差異は,Mg Kα のエネルギーが Ge の LI 吸収端と LII吸収端に近接していることから質量吸収係数の値の推定が難しいことに起因している と考えられる.

Electron microprobe analysis of Mg-Ge alloy - Examination of the mass absorption coefficient of Ge for Mg Kα -