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2. DLC 膜と炭素の結合状態 DLC 膜は主に耐摩耗性,耐食性を目的とした硬質 のコーティング膜として用いられており,工具や刃 物の硬度向上から車のエンジン等の機構部品の摩擦 抵抗軽減,電池等の反応系における耐食性向上にい たるまで幅広く利用されている[1,2].DLC 膜という 名称は“炭素を主成分とするダイヤモンドに類似し た膜”として付けられているが,組成や特性につい ての明確な規定はない[3]. 炭素の結合状態には sp構造,sp構造,sp 構造が あり,それぞれσ結合4つ,σ結合3つとπ結合1 つ,σ結合2つとπ結合2つを持っている.DLC 膜 の多くは sp構造,sp構造とそれらの中間的な構造 を複雑に含んだ非晶質な膜となっており,その特性 は sp構造,sp構造の割合と H 含有量によって大き く変化するため[4,5],炭素の結合状態を知ることは DLC 膜の特性を制御する上でとても重要である. 非晶質な DLC 膜の結合状態を調べる主な手法と してラマン分光法,X 線光電子分光法,核磁気共鳴 分析,EELS や X 線吸収微細構造法(X-ray absorption fine structure,XAFS)が挙げられる.この中でも EELS は実験室の装置を用いて試料の表面・局所の測定が

Bonding State Analysis of DLC by Using Reflective EELS