English (United Kingdom)

https://curated-unify.zendy.io/wp-json/zendy-region/v1/featured_content/oa?rat=en

https://curated-unify.zendy.io/wp-json/zendy-region/v1/highlighted_journal/

Global: Zendy Plus annual

Presents the access of premium content as premium feature

Premium Content

Presents the keyphrase highlighting as premium feature

Keyphrase Highlighting

Presents the summarisation as premium feature

Summarisation

Insights

Presents the pdf analysis as premium feature

PDF Analysis

Presents the zaia usage as premium feature

ZAIA

Global: Zendy Tools annual

Global: Zendy Free Plan

Global: Zendy Tools monthly

Global: Zendy Plus monthly

探針に流れるトンネル電流を利用した走査型トンネル顕微鏡 (Sanning Tunneling Microscope: STM) の開発によっ て原子分解能での物質表面観察を実現し,ノーベル物理学賞を受賞した Binnigらは,その後,フェルミ準位近傍 に探針と電子のやり取り可能な電子準位を持つ計測試料表面しか観察できないという STMが持つ制約を解消す るため,原子間力を利用した新しい顕微鏡 (原子間力顕微鏡,Atomic force micropscope: AFM) を提案した.原子 間力顕微鏡の最も重要な機械要素が図 1のような先端に探針を持つマイクロスケールの片持ち梁(microcantilever : 以降マイクロカンチレバーと呼ぶ)である.自由端上の探針に働く計測試料からの原子間力による,マイクロカ ンチレバーの静的または動的な挙動を利用して,マイクロ・ナノスケールでの試料表面形状や様々な物性値が計 測される.AFM による計測には梁要素の利用のみならず,振動論など機械工学と深くかかわりのある技術および 理論が活かされている.本稿では表面科学,分子生物学などナノ・マイクロサイエンスの分野で今や欠くことが できない最先端の計測技術である AFM の計測原理を振動利用の視点から紹介する. 2. AFM における様々な計測モード

Oscillation Theory in Nanoscale Measurement with Microcantilever Probe