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工作物を高能率で切断するため,スロット付きセグメン トタイプのダイヤモンドカッタが広く用いられている.ス ロットの存在が切り屑の逃げ場を提供し,自生発刃作用を 活性化させ,加工液の加工点への浸透を高めるなどの理由 で,切断抵抗や切断温度の低下に効果があることがよく知 られている.また,切断抵抗の抑制は工具の寿命を長くし ている. ダイヤモンド切断砥石には,ダイヤモンドカッタとダイ シングブレードがある.アスファルト道路の切断などに用 いられるダイヤモンドカッタはスロットのある剛性の高い 台金の外周に砥粒層のセグメントが取り付けられている. 現在,外周径が 0.1 mから 3.5 mまでのものが製作されて いる.大口径になるほど台金の高速回転によるアンバラン ス等による横揺れが起こり易く,剛性の低い厚さ 1 mm以 下のカッタの利用は困難とされている.一方,半導体部品 に使用されるシリコンウェーハやセラミックス,水晶など の硬脆材料の切断に利用されているダイシングブレード は,外径が 50 mmから 150 mm程度のもので,カーフロス を低減させるため厚さが 0.2 mm以下の薄いものが一般的 に使用されている.そのため,通常刃物全体が砥粒層で構 成された一体構造をしていて,オールブレードタイプある いはコンティニュアスタイプと呼ばれている.しかし,従 来の熱硬化性樹脂からなるダイシングブレードは,高温の 熱を加える工程において熱収縮と反りが生じ,薄形のスロ ット付きブレードの製造はできないと考えられてきた.こ れに対し,著者らはブレードの結合剤に光硬化性樹脂を用 いることでこの問題を解決し,極薄ブレード(1)および 三層ブレード(2)の開発を行った. 本論文では,光硬化性樹脂を用いたブレードの高性能化 を果たすために,光透過の制御ができるマスクを活用して, スロット付きブレードの製作を検討する.さらにスロット 付きブレードの切断品質を高めるようなブレードの開発を 行った.これら三層ブレードやスロット付きブレードは, 厚み方向や円周方向に所定の構造を有することから,構造 制御型ブレードと称している.

Development of a Dicing Blade with Combined Structure Utilizing Photocurable Resins