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Ce travail explore les potentialites des microsystemes electromecaniques (MEMS) pour fabriquer des references de tension en courant alternatif (AC) au moyen du couplage electromecanique pour des applications en metrologie et en instrumentation miniaturisee. Des structures de test de reference de tension AC de 2 V a 100 V ont ete concues et fabriquees en utilisant un procede de micro-usinage de surface de couche epitaxiale de silicium d'un substrat silicium sur isolant (SOI). Ce procede permet un controle precis a la fois des dimensions du systeme et des proprietes du materiau. Les valeurs mesurees des references de tension MEMS sont en bon accord avec les simulations effectuees avec le logiciel Coventor. Ces structures de test ont egalement servi a developper l'electronique de commande et d'actionnement des MEMS et les bancs de mesure et de caracterisation. Une deuxieme generation de microsystemes avec des caracteristiques ameliorees a ensuite ete fabriquee. Les frequences de resonance mecanique de ces nouveaux MEMS mesurees par DLTS (Deep Level Transient Spectroscopy) sont de quelques kilohertz. Cela permet d'envisager le developpement de references de tension AC fonctionnant a partir de quelques dizaines de kilohertz. Enfin, la stabilite de la tension de reference MEMS, evaluee a 100 kHz, est tres prometteuse puisque pour les meilleurs echantillons, l'ecart relatif par rapport a la valeur moyenne presente un ecart type de 6,3 × 10 -6 sur pres de 12 h.

Microcomposants électromécaniques pour la réalisation de références de tension en courant alternatif