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L'analyse spectroscopique (integree dans le t emps) de l 'emission des p lasmas se fait perpendiculairement a la cible tournante, irradiee sous une incidence de 9 0 e , par un monochromateur McPherson 218 isole de la cellule d'ablation par une fenetre en FLi, un filtre passe-haut (300 n m ) amovible permettant d'eliminer les ordres superieurs. Les photons sont detectes par un photomult ipl icateur RTC a fenetre en FLi relie a un systeme de comptage d e photons suivi d'un enregistreur graphique. Les spectres d'emission, non corriges par la reponse spectrale de l 'ensemble du systeme optique et representes sur la figure 1, sont constitues d'un fond cont inu non structure dont l'intensite decroit vers le visible, sur lequel se superpose un nombre eleve de raies identifiees a partir des tables de raies spectrales des e lements Ge et Si [1]. Les transit ions auxquelles elles correspondent ont ete determinees d'apres les valeurs connues des niveaux d'energie de leurs etats excites [2]. La plupart des 73 et 35 raies respect ivement identifiees dans les plasmas de Ge et de Si ont ete attribuees a la desexcitation radiative d'atomes excites: Ge* [...4s 2 4 p ns (n = 5,6,7,8), . . . 4 s 2 4p nd (n = 4,5,6) et ...4s 4 p 3 ] et Si* [. . .3s 2 3p ns (n = 4,5,6,7), . . . 3 s 2 3p nd (n = 3,4,5,6,7) et ...3s 3 p 3 ] vers leur niveau fondamental Seules les raies Ge I (n° 72-73) et Si I (n° 30-35) avaient ete observees par d'autres auteurs lors d'etudes similaires sur des domaines spectraux plus restreints : au-dela de 400 nm dans le cas du Ge [3] et de 250-300 nm en ce qui concerne Si [4,5], ainsi qu'un certain nombre de raies ioniques dont nous ne relevons pas la presence. Cependant, les raies n° 4 , 29 , 43 et 46 dans le cas de Ge et la raie n° 23 de Si, emises endessous de 220 nm, pourraient provenir d'une desactivation d'especes ioniques. Il semblerai t que, dans nos condit ions exper imentales , les ions presents dans le p lasma disparaissent essentiellement par recombinaison radiative. La nature et la pression du milieu gazeux environnant : 7 ,5 . IO ' 2 et 2 . 1 0 5 Torr d'air ou 7,5.IO" 2 Torr d'helium n'affectent en rien la structure de ces spectres. Le seuil d'apparition du plasma avec emission lumineuse est de 1,2 a 1,3 J / c m 2 . L'augmentation de la fluence ju sque 4 J /cm 2 n'entraine pas l 'apparition de nouvel les emissions a tomiques ou ioniques mais uniquement une augmentat ion de l'intensite : uniforme et de l'ordre de quelques % pour Si, elle varie de 20 a plus de 100 % selon le domaine d'emission dans le cas de Ge. Dans les spectres d'emission determines pour une cible de SiGe, on retrouve la plupart des raies a tomiques correspondant a chacun de ses e lements , a l 'exception de 23 raies assignees a Ge et 5 a Si. Aucune nouvelle emission pouvant provenir de la desexcitat ion d'agregats SiGe formes en phase gazeuse n'est decelee.

Analyse spectrale de plasmas créés par ablation par laser à excimères de cibles Ge, Si et SiGe