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Résumé : Les méthodes de dépôt de couches minces connaissent actuellement un développement important, du fait des succès spectaculaires qu'elles ont permis d'obtenir pour les supraconducteurs à haute température critique. Malgré ces résultats, les phénomènes mis en jeu restent encore très mal compris. Après un exposé rapide des principes du dépôt de couches minces par photoablation et des phénomènes mis en jeu lors du transport des espèces éjectées de la cible au substrat, nous présentons des résultats expérimentaux concernant le diagnostic du panache de photoablation et le dépôt de couches minces YBaCuO, carbone et PZT.

Dépôt de couches minces par photoablation