Open AccessInsight into Macroscopic Metal-Assisted Chemical Etching for Silicon Nanowires
Author(s) -
Lin Liu,
新能源电力系统国家重点实验室 sup> 华北电力大学可再生能源学院,
Zhisheng Li,
Huidong Hu,
WeiLi Song,
能量转换与存储材料北京市重点实验室 sup> 北京师范大学,
北京 sup> 北京科技大学新材料技术研究院
Publication year - 2016
Publication title -
wuli huaxue xuebao
Language(s) - English
Resource type - Journals
ISSN - 1000-6818
DOI - 10.3866/pku.whxb201602183
Subject(s) - materials science , silicon nanowires , etching (microfabrication) , nanowire , isotropic etching , metal , nanotechnology , silicon , optoelectronics , metallurgy , layer (electronics)