Open AccessДослідження процесу формування мікрорельєфних структур у плівках хрому на основі методу хімічного травлення
Author(s) -
А. В. Панкратова,
А. А. Крючин,
Ю. О. Бородін,
Є. В. Беляк,
О. В. Пригун
Publication year - 2021
Publication title -
reêstracìâ, zberìgannâ ì obrobka danih
Language(s) - Ukrainian
Resource type - Journals
eISSN - 2522-4689
pISSN - 1560-9189
DOI - 10.35681/1560-9189.2021.23.1.235022
Subject(s) - political science
Розглянуто сучасні підходи, які використовуються при формуванні мік-рорельєфних структур на поверхні високостабільних підкладок. Проведено аналіз технологічного процесу нанесення захисної маски на основі хрому при формуванні інформаційного шару оптичного диска з сапфіровою підкладкою. Представлено результати експериментальних досліджень формування мікророзмірних елементів у тонких плівках хрому. Визначено умови оптимізації процесу лазерного запису у середовищі маски фоторезисту, що застосовується при хімічному трав-ленні плівки хрому під час формування мікрорельєфної структури на поверхні сапфірової підкладки.