z-logo
open-access-imgOpen Access
Исследование физических процессов нанесения цинка из паро-газовой фазы в вакууме
Author(s) -
Andriy Zimizhd,
Anton Huda,
Volodymyr Kovtun
Publication year - 2019
Publication title -
sučasnì problemi metalurgìï
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 2707-9457
pISSN - 1991-7848
DOI - 10.34185/1991-7848.2018.01.01
Subject(s) - computer science
Термическое напыление активно применяется в микроэлектронике и оптике, в частности, методом делают напыление просветляющих и отражающих покрытий. Целью данной работы является исследование зависимости толщины металлических пленок от времени нанесения в вакууме. Для того, что бы узнать не сталкиваются ли атомы металла при испарении с молекулами остаточного газа в камере при своем движении к стеклянной подложке, а также что их траектория прямолинейна, посчитаем среднюю длину пробега молекулы. Если в вакуумной камере расстояние от испарителя до подложки достаточно мало, по сравнению со средней длиной пробега молекулы, то большая часть атомов металла будет достигать подложки не сталкиваясь, с молекулами остаточного газа. Произведено ряд замеров сопротивления металлических пленок, полученных при напылении в вакуумеи выполнено исследование физических процессов нанесения цинка из парогазовой фазы в вакууме. На основании полученных экспериментальных данных было выявлено зависимость толщины металлических пленок от времени нанесения.

The content you want is available to Zendy users.

Already have an account? Click here to sign in.
Having issues? You can contact us here