
Исследование физических процессов нанесения цинка из паро-газовой фазы в вакууме
Author(s) -
Andriy Zimizhd,
Anton Huda,
Volodymyr Kovtun
Publication year - 2019
Publication title -
sučasnì problemi metalurgìï
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 2707-9457
pISSN - 1991-7848
DOI - 10.34185/1991-7848.2018.01.01
Subject(s) - computer science
Термическое напыление активно применяется в микроэлектронике и оптике, в частности, методом делают напыление просветляющих и отражающих покрытий. Целью данной работы является исследование зависимости толщины металлических пленок от времени нанесения в вакууме. Для того, что бы узнать не сталкиваются ли атомы металла при испарении с молекулами остаточного газа в камере при своем движении к стеклянной подложке, а также что их траектория прямолинейна, посчитаем среднюю длину пробега молекулы. Если в вакуумной камере расстояние от испарителя до подложки достаточно мало, по сравнению со средней длиной пробега молекулы, то большая часть атомов металла будет достигать подложки не сталкиваясь, с молекулами остаточного газа. Произведено ряд замеров сопротивления металлических пленок, полученных при напылении в вакуумеи выполнено исследование физических процессов нанесения цинка из парогазовой фазы в вакууме. На основании полученных экспериментальных данных было выявлено зависимость толщины металлических пленок от времени нанесения.