Open AccessПлазмохимический способ модификации карбида кремния для получения частиц с управляемой морфологией поверхности
Author(s) -
Т.А. Шалыгина,
М.С. Руденко,
И.В. Немцев,
В.А. Парфенов,
С.Ю. Воронина
Publication year - 2022
Publication title -
pisʹma v žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7471
pISSN - 0320-0116
DOI - 10.21883/pjtf.2022.04.52078.19042
Subject(s) - chemistry
Представлен плазмохимический способ модификации частиц карбида кремния, позволяющий получить частицы с управляемой морфологией поверхности. Изменяющимся параметром обработки частиц являлось соотношение объемных долей плазмообразующего (Ar) и дополнительного (Н) газов. Показано, что при соотношении Ar/H = 100/0 наблюдается образование углеродной оболочки, при соотношениях Ar/H, равных 91/9 и 84/16, частицы характеризуются углеродной оболочкой, декорированной кремниевыми наночастицами или нитевидными нанокристаллами соответственно. Модифицированные частицы проанализированы с помощью сканирующей электронной микроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния. Ключевые слова: карбид кремния, плазмохимия, морфология поверхности, наночастицы, нитевидные нанокристаллы, углеродная оболочка, ядро-оболочка.