Open AccessНанокристаллические покрытия alpha-Al-=SUB=-2-=/SUB=-O-=SUB=-3-=/SUB=-, полученные реакционным термическим анодным испарением в дуговом разряде при низкой температуре
Author(s) -
Н.В. Гаврилов,
А.С. Каменецких,
П.В. Третников,
А.В. Чукин
Publication year - 2017
Publication title -
pisʹma v žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7471
pISSN - 0320-0116
DOI - 10.21883/pjtf.2017.20.45154.16903
Subject(s) - materials science , crystallography , physics , chemistry
Впервые методом анодного термического испарения Al в дуговом разряде в кислородно-аргоновой смеси получены нанокристаллические покрытия Al 2 O 3 на нержавеющей стали с использованием подслоя из Cr 2 O 3 при температуре 600 o C. Проанализировано влияние состояния поверхности образцов и энергии ионов на фазовый состав, микроструктуру и свойства покрытий. Фаза alpha-Al 2 O 3 формируется в диапазоне значений потенциала смещения 25-200 V, с ростом которого размер микрокристаллитов уменьшается от 60 до 15 nm, а твердость покрытия возрастает от 8 до 20 GPa. DOI: 10.21883/PJTF.2017.20.45154.16903