Open AccessФормирование гексагональной фазы кремния 9R при ионной имплантации
Author(s) -
Д.С. Королев,
А.А. Никольская,
Н.О. Кривулин,
А.И. Белов,
А.Н. Михайлов,
Д.А. Павлов,
Д.И. Тетельбаум,
Н.А. Соболев,
Mahesh Kumar
Publication year - 2017
Publication title -
pisʹma v žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7471
pISSN - 0320-0116
DOI - 10.21883/pjtf.2017.16.44937.16852
Subject(s) - nuclear chemistry , materials science , chemistry
С помощью метода просвечивающей электронной микроскопии в приграничном слое кремния структуры SiO 2 /Si, подвергнутой ионной имплантации и термической обработке, обнаружено образование включений гексагонального кремния (политип 9R). Образование гексагональной фазы обусловлено механическими напряжениями, возникающими в гетерофазной системе в процессе ионной имплантации. DOI: 10.21883/PJTF.2017.16.44937.16852