Open AccessВлияние добавления диборана на свойства плазмохимически осаждаемых углеродных пленок
Author(s) -
Е. Н. Шубина,
П. А. Карасёв,
А. И. Титов,
О. А. Подсвиров,
А.Я. Виноградов,
Н. Н. Карасёв,
А. В. Поздняков
Publication year - 2017
Publication title -
pisʹma v žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7471
pISSN - 0320-0116
DOI - 10.21883/pjtf.2017.01.44093.16031
Subject(s) - chemistry , environmental science
Представлены результаты исследований оптических, электрических, механических свойств алмазоподобных углеродных пленок, полученных методом плазмохимического газофазного осаждения из смеси диборана и метана в различных пропорциях. При достижении пороговой концентрации (~ 12%) диборана в рабочей смеси, в структуре пленок начинают формироваться включения новой фазы. Это приводит к нелинейной зависимости внутренних напряжений и поверхностного сопротивления получаемых покрытий от состава смеси с минимальными значениями при концентрации диборана ~ 12%.