Open AccessМинимизация суммарной глубины внутренних пилообразных рельефов двухслойной рельефно-фазовой дифракционной микроструктуры
Author(s) -
Г.И. Грейсух,
В.А. Данилов,
С.А. Степанов,
А.И. Антонов,
Б.А. Усиевич
Publication year - 2018
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/os.2018.01.45365.143-17
Subject(s) - computer science