
Пробеги атомов водорода, дейтерия, гелия в аморфных кремнии и вольфраме
Author(s) -
Д.С. Мелузова,
П.Ю. Бабенко,
А.П. Шергин,
А.Н. Зиновьев
Publication year - 2020
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/jtf.2020.01.48678.89-19
Subject(s) - chemistry , materials science
Получены распределения пробегов для атомов H, D, He с энергиями в диапазоне 0.1-100 keV в аморфных W и Si для нормального падения налетающих частиц. Расчеты проведены как в приближении парных соударений, так и более точным методом расчета траекторий частиц. Показано, что результаты обоих методов хорошо согласуются между собой и с экспериментальными данными по средним пробегам для системы H-Si. Оценено влияние притягивающей ямы в потенциале взаимодействия налетающей частицы с атомами твердого тела на результаты расчетов. Ключевые слова: пробеги, вольфрам, кремний, аморфный.