Электрофизические свойства вдоль границы раздела двух полимерных пленок полиметилметакрилата

Проведены исследования проводимости вдоль границы раздела двух диэлектрических пленок субмикронной толщины. Представлены результаты сравнительного исследования электрофизических свойств отдельных пленок. В качестве диэлектрического материала был использован коммерческий полимер --- полиметилметакрилат. Исследования проводились по двухзондовой схеме методом вольт-амперных характеристик. Обнаружено аномальное по отношению к объемной увеличение проводимости. Установлено, что увеличение проводимости связано с возрастанием подвижности носителей заряда вдоль границы раздела до 140 cm 2 /V·s. Проведено сравнение с известными из литературы аналогами, подчеркивается необходимость дополнительного анализа свойств контакта трехмерная/двумерная область. Ключевые слова: полиметилметакрилат, диэлектрические пленки, граница раздела, подвижность.