Open AccessНОВЫЕ МЕТАЛЛОРГАНИЧЕСКИЕ ПРЕКУРСОРЫ И ПРОЦЕССЫ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ В ТЕХНОЛОГИЯХ НАНОМАТЕРИАЛОВ
Author(s) -
А. Кузнецов,
П. Смирнова,
И. Файнер,
Б. Морозова,
К. Игуменов
Publication year - 2015
Publication title -
izvestiâ vysših učebnyh zavedenij. materialy èlektronnoj tehniki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 2413-6387
pISSN - 1609-3577
DOI - 10.17073/1609-3577-2012-2-4-12
Subject(s) - materials science