Open AccessНАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ НА ОСНОВЕ ОКСИДА ЦИНКА, ПОЛУЧЕННЫЕ В ЕДИНОМ ВАКУУМНОМ ЦИКЛЕ
Author(s) -
А. К. Ахмедов,
А. Х. Абдуев,
А. Ш. Асваров,
А. Э. Муслимов,
В. М. Каневский
Publication year - 2020
Publication title -
rossijskie nanotehnologii
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
eISSN - 1993-4068
pISSN - 1992-7223
DOI - 10.1134/s1992722320060023
Subject(s) - computer science