Korrosion im Inneren von integrierten Schaltkreisen

Der vorliegende Beitrag behandelt Korrosionserscheinungen im Inneren von integrierten Schaltungen (IC = integrated circuit), nicht hingegen Erscheinungen an den Außenflächen der IC‐Gehäuse oder auf der Leiterplatte selbst. Des weiteren beschränkt sich der Beitrag auf die Erscheinungen, die in IC's und diskreten Halbleitern auf Siliciumbasis auftreten, denn deutlich mehr als 90% aller Halbleiterbauteile sind auf Si‐Basis konzipiert; III‐V‐Verbindungshalbleiter werden hier nicht behandelt.