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Edson José Costa Santos1 Edalmy Oliveira do Nascimento2 Thércio Henrique Carvalho Costa3 Arnaldo Del Franzz Alvarez Gil4 José Quinzinho Medeiros Neto5 Custódio Leopodino Brito Guerra Neto6 Ivan Alves de Souza7 Resumo Uma fonte promissora de pós-descarga é a obtida por cátodo oco, isso devido a sua operação, baixo custo, elevada densidade de espécies ativas e design. Neste trabalho empregou-se a espectroscopia de emissão para diagnosticar as espécies ativas produzidas descarga em catodo oco. Variou-se a corrente elétrica na descarga de Ar entre 150 e 600 mA para verificar a influência da corrente na descarga. Posteriormente, fixou-se a corrente elétrica e variou-se o fluxo de N2 na pós-descarga de 1 a 6 cm/min. Observou-se que a corrente elétrica influenciou na intensidade de emissão das espécies produzidas pelo sistema de descarga cátodo oco. Além disso, não foi observada a emissão ótica da espécie de  2 N na pósdescarga Ar-N2. Palavras-chave: Cátodo oco; Emissão óptica; Análise de gás residual.

DIAGNÓSTICO DE DESCARGA E PÓS-DESCARGA EM SISTEMA CÁTODO OCO