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Dans cet article, nous presentons des microgenerateurs thermoelectriques (μTEG) planaires realises en technologie Silicium compatible CMOS, et destines a la recuperation de toute forme d'energie thermique. Ceux-ci utilisent des materiaux faible cout, abondants et respectueux de l'environnement. La captation de la chaleur est effectuee a l'aide d'un concentrateur, en Silicium. La configuration « semi 3D » developpee utilise des membranes suspendues et necessite, pour eviter de les casser, la mise en oeuvre de structures de maintien, appelees bossages. L'objectif de ce travail est d'evaluer l'amelioration des performances de conversion des μTEG resultant de la reduction des pertes thermiques laterales suite a l'anodisation selective de ces bossages. La simulation thermique de μTEGs integrant de tels bossages en Si poreux montre que les puissances generees pourront etre augmentees jusqu'a 65%.

Utilisation du silicium nanostructuré dans un générateur thermoélectrique pour la réduction des pertes thermiques