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Durch Laufzeitmessung von Licht können diffus reflektierende räumliche Objekte mit integrierten optischen Abstandssensoren sehr schnell vermessen werden. Mögliche Anwendungsgebiete sind z.B. Sicherheitsanwendungen im Automobil. Sehr kurze Laufzeiten (ns) sowie geringe optische Empfangsleistung (nW), resultierend aus der notwendigen Augensicherheit, stellen hohe Anforderungen an den Empfänger, denen die integrierten PIN-Photodioden durch hohen Wirkungsgrad ( R =0.36A/W @ 660nm) bei hoher Detektorbandbreite ( f  3dB =1.35GHz) genügen. Anhand zweier realisierter Sensorkonzepte werden unterschiedliche Funktionsweisen demonstriert: interne und externe Signalkorrelation des Photodetektors. Der Laboraufbau, bestehend aus modulierter Lichtquelle (Laser), Optik, Sensorchip, Ansteuerlogik und Messauswertung, ermöglicht durch Mittelung Messgenauigkeiten von 1% für Abstände bis zu 3.7m. Die optoelektronischen integrierten Schaltungen (OEICs) sind in einem modifizierten 0,6-μm-BiCMOS-Prozess hergestellt.

Monolithische Korrelationsempfänger für optische Abstandsmessung (Integrated Correlation Receivers for Runtime Based Optical Distance Measurement)