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Heterodyne Interferometer messen Schwingungsamplituden bei Frequenzen &gt; 100MHz mit definierter Messunsicherheit im Gegensatz zu homodynen Verfahren. Die geringe Effizienz von Bragg-Zellen als Frequenzschieber bei Frequenzen &gt; 409MHz limitieren den Einsatz von heterodynen Interferometern im Gigahertz- Bereich. In diesem Beitrag stellen wir ein heterodynes Laser-Doppler-Vibrometer-Mikroskop vor, in dem eine optoelektronische Phasenregelschleife zwei Diodenlaser auf eine Frequenzdifferenz regelt und die Trägerfrequenz erzeugt. Unser Messsystem bietet eine Auflösung von Schwingungsamplituden im Pikometer-Bereich bei Schwingungsfrequenzen von 10MHz bis 700MHz. Die Messfähigkeit der Betragsamplitude und Phase der Schwingung wird am Messbeispiel eines Oberflächenwellen-Filters demonstriert.

tm - technisches messen

Heterodynes Laser-Doppler-Vibrometer mit gekoppelten Diodenlasern zur Schwingungsanalyse von SAW-Filtern / Heterodyne laser-Doppler vibrometer with frequency-offset-locked diode lasers for vibration analysis of SAW filters